Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов. Геннадий Красников

Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов

ИздательствоТехносфера
Год издания2011
Страниц800
ПереплетТвердый переплет
ИзданиеВторое издание
Формат70х100/16 (170х240 мм, увеличенный)
ISBN978-5-94836-289-2
ИзготовительЗАО "Рекламно-издательский центр "Техносфера". РФ, г. Москва, Лубянский проезд, 27/1
ИмпортерООО «НТЦ АПИ», г. Минск, ул. Уманская, 54, пом. 1, каб. 34

В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев.

В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния масштабирования размеров элементов в субмикронную область и особенностей технологических процессов на надежность и долговечность субмикронных МОП-транзисторов. Представлены данные о влиянии технологических процессов изготовления субмикронных СБИС (процессов плазменной обработки, ионного легирования и технологических операций переноса изображения) на деградацию подзатворного диэлектрика, а значит — на уровень выхода, надежность и долговечность годных готовых изделий.

Книга предназначена для специалистов в области проектирования и разработки технологии изготовления КМОП СБИС, а также для студентовстарших курсов, аспирантов и преподавателей технических вузов.

Похожие лоты

Вход

В течение нескольких секунд вам придёт SMS с одноразовым кодом для входа. Если ничего не пришло — отправьте код ещё раз.
Это бесплатно, безопасно и займёт всего несколько секунд
Войдите с помощью своего профиля

Регистрация

Введите номер вашего мобильного телефона:
Войдите с помощью электронной почты или номера телефона
Войдите с помощью своего профиля

Восстановление пароля

Укажите адрес электронной почты, который вы использовали при регистрации
Нужна помощь? Напишите нам

Восстановление пароля

Инструкции по восстановлению пароля высланы на 
Нужна помощь? Напишите нам