Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Вячеслав Галперин, Евгений Данилкин, А. Мочалов

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях

ИздательствоБином
Год издания2010
Страниц288
ПереплетТвердый переплет
Формат60х90/16 (145х215 мм, стандартный)
ISBN978-5-9963-0032-7
ИзготовительООО "Издательство "Бином". 127018, РФ, г. Москва, ул. Сущевский вал, д. 49
ИмпортерООО «НТЦ АПИ», г. Минск, ул. Уманская, 54, пом. 1, каб. 34

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем.

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Похожие лоты

Вход

В течение нескольких секунд вам придёт SMS с одноразовым кодом для входа. Если ничего не пришло — отправьте код ещё раз.
Это бесплатно, безопасно и займёт всего несколько секунд
Войдите с помощью своего профиля

Регистрация

Введите номер вашего мобильного телефона:
Войдите с помощью электронной почты или номера телефона
Войдите с помощью своего профиля

Восстановление пароля

Укажите адрес электронной почты, который вы использовали при регистрации
Нужна помощь? Напишите нам

Восстановление пароля

Инструкции по восстановлению пароля высланы на 
Нужна помощь? Напишите нам