Все разделы
| Состояние | Отличное |
| 336 стр. | |
| Автор | ред. Бериш |
| Издательство | Мир |
| Год издания | 1984 |
| Переплет | Твердый переплет |
В книге, написанной крупнейшими специалистами по радиационной физике твердого тела, рассмотрены современные теории взаимодействия легких и тяжелых ионов с моно- и поликристаллическими твердыми телами, методы моделирования радиационных эффектов в твердых телах с помощью ЭВМ, систематизирован обширный материал, полученный при распылении твердых тел ионной бомбардировкой. Книга является итогом самых последних исследований в данной области, многие результаты публиковались ранее лишь в виде отчетов.
Для научных работников и инженеров, работающих в области физики твердого тела, микроэлектроники, плазменной технологии, плазменных энергетических установок, а также для студентов и аспирантов вузов соответствующих специальностей.СодержаниеПредисловие редактора перевода
Предисловие
Введение и общий обзор
Распыление ионной бомбардировкой, общие теоретические представления
Теоретические вопросы распыления монокристаллов
Измерения коэффициента распыления
Коэффициенты распыления монокристаллических мишеней
Дополнительная литература
Список обозначений
Предметный указатель
|
|
Возможна пересылка в другую страну. Условия оплаты и стоимости доставки в другую страну обязательно согласовывать до покупки
Похожие лоты
1 комментарий